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Präzision und Dynamik für die Halbleiterfertigung

Hochwellen-Drehtisch mit Servoantrieb kombiniert

31.07.2024
von Redaktion ANTRIEBSTECHNIK
DGII-Hohlwellen-Drehtisch mit AZX-Servomotor von Oriental Motor

Hohe Drehmomente im oberen Drehzahlbereich: Die neuen rotierenden Aktuatoren der DGII-Serie von Oriental Motor verbinden einen Hohlwellen-Drehtisch mit einem drehmomentstarken Servomotor der AZX-Serie.

Ein integrierter batterieloser mechanischer Absolut-Encoder ermöglicht eine Wiederholgenauigkeit von ±15 arcsec und ein schnelles Fahren des Antriebs in die Grundstellung, was Maschinenzyklen verkürzt. Der Hohlwellen-Drehtisch hat eine hohe Steifigkeit und ist für Drehmomente bis zu 50 Nm, Drehzahlen bis 1833 Grad/s sowie Lastmomente bis 100 Nm und Traglasten bis 4.000 N ausgelegt. Der Aktuator hat einen Hohlwellen-Durchmessern von 100 mm und eine Rahmengröße von 200 mm. Für den Einsatz in der Halbleiterfertigung und in Robotern ist er laut Hersteller besonders geeignet. Die Servomotoren werden mit Feldbustreiber geliefert; EtherCAT, Profinet oder EtherNet/IP sind verfügbar. Eine kostenlose Parametrier-Software des Herstellers vereinfacht deren Programmierung.

 

Quelle: Oriental Motor (Europa)

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